플루오르화황(SF₆)의 온실효과와 반도체 공정에서의 사용 저감 전략
1. 서론 – SF₆의 정체성과 문제 제기플루오르화황(Sulfur hexafluoride, SF₆)은 무색무취의 무독성 가스로, 우수한 절연 특성과 안정성 덕분에 반도체, 전력, 의료 등 다양한 산업 분야에서 사용되고 있습니다. 그러나 SF₆는 지구온난화지수(GWP)가 이산화탄소(CO₂)의 약 23,500배에 달하는 강력한 온실가스로, 대기 중에 누출될 경우 수천 년간 분해되지 않고 기후변화에 기여합니다.2. SF₆의 물리·화학적 특성 및 환경 지속성2.1 기본 특성화학식: SF₆분자량: 146.06g/mol녹는점: -50.8°C끓는점: -63.8°C비활성, 비가연성, 높은 절연성2.2 환경 지속성SF₆는 자연적으로 거의 분해되지 않으며, 대기 중 추정 수명은 약 3,200년으로 보고됩니다. 따라서 누출..
2025. 5. 21.